- химическое осаждение из паровой (газовой) фазы методом горячей стенки
- Engineering: hot-wall chemical vapor deposition
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
химическое осаждение из паровой (газовой) фазы методом горячей стенки
Смотреть что такое "химическое осаждение из паровой (газовой) фазы методом горячей стенки" в других словарях:
Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы — Химическое осаждение из газовой фазы с использованием металлорганических соединений (анг. Metalorganic chemical vapour deposition) метод получения материалов, в том числе эпитаксиального роста полупроводников, путём термического разложения… … Википедия
